发明名称 |
应用于单晶炉的晶体称重装置 |
摘要 |
本实用新型公开一种应用于单晶炉的晶体称重装置,包括串联重量传感器组,串联重量传感器组包括第一重量传感器和第二重量传感器,第一重量传感器与第二重量传感器串联连接,第一重量传感器量程大于第二重量传感器,第二重量传感器的精度高于第一重量传感器。本实用新型的重量传感器设置在真空腔外,线缆不需要真空电极转接,增强了抗电磁干扰能力。 |
申请公布号 |
CN204356439U |
申请公布日期 |
2015.05.27 |
申请号 |
CN201420738619.8 |
申请日期 |
2014.11.28 |
申请人 |
南京晶升能源设备有限公司 |
发明人 |
李辉;李占贤;张洪涛;宁斯琴;杨晓飞;江世成 |
分类号 |
C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I;G01G19/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B17/00(2006.01)I |
代理机构 |
南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 |
代理人 |
李昊 |
主权项 |
一种应用于单晶炉的晶体称重装置,其特征在于,包括串联重量传感器组,所述的串联重量传感器组包括第一重量传感器(8)和第二重量传感器(6),第一重量传感器(8)与第二重量传感器(6)串联连接,所述第一重量传感器(8)量程大于第二重量传感器(6),所述第二重量传感器(6)的精度高于第一重量传感器(8)。 |
地址 |
210000 江苏省南京市南京经济技术开发区恒发路30-1号 |