发明名称 应用于单晶炉的晶体称重装置
摘要 本实用新型公开一种应用于单晶炉的晶体称重装置,包括串联重量传感器组,串联重量传感器组包括第一重量传感器和第二重量传感器,第一重量传感器与第二重量传感器串联连接,第一重量传感器量程大于第二重量传感器,第二重量传感器的精度高于第一重量传感器。本实用新型的重量传感器设置在真空腔外,线缆不需要真空电极转接,增强了抗电磁干扰能力。
申请公布号 CN204356439U 申请公布日期 2015.05.27
申请号 CN201420738619.8 申请日期 2014.11.28
申请人 南京晶升能源设备有限公司 发明人 李辉;李占贤;张洪涛;宁斯琴;杨晓飞;江世成
分类号 C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I;G01G19/00(2006.01)I 主分类号 C30B17/00(2006.01)I
代理机构 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人 李昊
主权项 一种应用于单晶炉的晶体称重装置,其特征在于,包括串联重量传感器组,所述的串联重量传感器组包括第一重量传感器(8)和第二重量传感器(6),第一重量传感器(8)与第二重量传感器(6)串联连接,所述第一重量传感器(8)量程大于第二重量传感器(6),所述第二重量传感器(6)的精度高于第一重量传感器(8)。
地址 210000 江苏省南京市南京经济技术开发区恒发路30-1号