| 摘要 |
높은 정밀도로 타깃을 측정 대상물에 접촉시키는 타깃 보유 지지 지그 및 측정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 타깃 보유 지지 지그는, 광원으로부터 사출된 측정광을 반사하는 반사 기구를 구비하는 구 형상의 타깃을 보유 지지하고, 타깃과 측정 대상물의 단부면을 접촉시키는 타깃 보유 지지 지그로서, 측정 대상물과 접촉시킨 상태에서 타깃을 지지하는 지지부와, 지지부의 측정 대상물과 대향하는 측에 배치되고, 측정 대상물의 단부면의 짧은 변 방향에 있어서 타깃이 측정 대상물에 접촉하는 위치를 규제하고, 또한, 타깃의 측정 대상물의 단부면의 짧은 변 방향으로의 이동을 규제하는 가이드부와, 지지부에 고정되고, 측정 대상물에 착탈 가능하게 연결하는 연결부를 구비한다. |
