发明名称 ナノサイズ形状の大面積パターニング
摘要 <p>Methods for creating nano-shaped patterns are described. This approach may be used to directly pattern substrates and/or create imprint lithography molds that may be subsequently used to directly replicate nano-shaped patterns into other substrates in a high throughput process.</p>
申请公布号 JP5723779(B2) 申请公布日期 2015.05.27
申请号 JP20110536331 申请日期 2009.11.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;B29C33/38;B29C33/42;B29C59/02 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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