发明名称 渗漏检测装置
摘要 渗漏检测装置具有测试入口(10),且包含测试样品的测试室可与之连接。高真空泵(12)在测试气体检测器(11)中产生高真空。初步真空泵(20)包括两个泵级(22,23)。为了对该测试室抽真空,该泵级(22,23)以并联模式运行,使得它们的吸力累加。在实现必要的真空时,该泵级(22,23)串联运行以在测试气体探测器(11)上产生必要的高真空-这是高探测灵敏度所需要的。
申请公布号 CN103119413B 申请公布日期 2015.05.27
申请号 CN201180038350.1 申请日期 2011.07.20
申请人 英福康有限责任公司 发明人 乌尔里希·多布勒
分类号 G01M3/20(2006.01)I 主分类号 G01M3/20(2006.01)I
代理机构 深圳中一专利商标事务所 44237 代理人 张全文
主权项 一种渗漏检测装置,包括用于连接测试室的测试入口,连接至测试气体探测器的高真空泵,和包括至少两个泵级的预真空泵,其特征在于,中间接头安装于所述预真空泵的所述泵级之间且所述泵级可选择性地串联运行或并联运行,其中,阀装置的一接头在泵级之间形成中间接头。
地址 德国科隆