一种真空镀膜吸尘机

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜吸尘机，包括：自动运输装置、真空清洁装置、抽真空装置，自动运输装置包括料盘轨道、传输皮带和传输马达，传输马达驱动传输皮带转动，传输皮带带动料盘轨道移动；真空清洁装置包括供料盘通过的腔体及设于所述腔体两侧的感应器，所述腔体的上端及下端分别设有吸气孔或吸气缝；所述抽真空装置包括真空泵、清洁管道及过滤器，所述真空泵连接所述清洁管道，所述清洁管道连接所述吸气孔或吸气缝，所述真空泵与清洁管道之间设置过滤器。通过上述方式，本实用新型能有效解决现有技术中真空镀膜前基板清洁不完全的问题，不仅利于基板清洁提高产品品质，而且利于工作环境保护，减少工人工作量的同时保护工人身体健康。

主权项

一种真空镀膜吸尘机，其特征在于，包括：自动运输装置、真空清洁装置、抽真空装置，所述自动运输装置包括料盘轨道、传输皮带和传输马达，所述传输马达驱动所述传输皮带转动，所述传输皮带带动所述料盘轨道移动；所述真空清洁装置包括供待清洁的料盘通过的腔体及设于所述腔体两侧的感应器，所述腔体的上端及下端分别设有吸气孔或吸气缝；所述抽真空装置包括真空泵、清洁管道及过滤器，所述真空泵连接所述清洁管道，所述清洁管道连接所述吸气孔或吸气缝，所述真空泵与清洁管道之间设置过滤器。