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发明名称 Verfahren zur Scharfstellung des Bildes eines Elektronenmikroskops und Anordnung zur Durchfuehrung des Verfahrens
摘要
申请公布号 DE1108347(B) 申请公布日期 1961.06.08
申请号 DE1959S061313 申请日期 1959.01.14
申请人 SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DIPL.-PHYS. DR. RER. NAT. KARL-HEINZ HERRMANN
分类号 H01J37/153;H01J37/21 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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