等离子体处理装置

摘要

本实用新型公开了一种等离子体处理装置，包括反应箱、电极组件和高频电源，反应箱上设置有抽真空口和进气口，电极组件包括至少一组电极管，每组电极管沿反应箱的长度方向和反应箱的高度方向设置于反应箱内部，每组电极管分别与高频电源的正极、负极电连接，电极管内设置有绝缘层且电极管与冷却水源连通。本实用新型电极管与冷却水源连通，直接对电极管降温，相较于现有技术，降温效果更佳，避免电极管升温对设备造成损坏，也避免反应箱内升温损坏产品。

主权项

等离子体处理装置，其特征在于，包括反应箱、电极组件、高频电源和物料板，所述反应箱上设置有抽真空口和进气口，所述电极组件包括至少一组电极管，每组电极管沿所述反应箱的长度方向和所述反应箱的高度方向设置于所述反应箱内部，每组电极管分别与所述高频电源的正极、负极电连接，所述电极管内设置有绝缘层且所述电极管与冷却水源连通，所述物料板水平设置于每组电极管之间。