玻璃基板制造装置

摘要

本实用新型提供能够减少铂族金属的挥发物凝集的玻璃基板制造装置。本实用新型的玻璃基板制造装置具有熔融玻璃处理装置，熔融玻璃处理装置具有包含所述熔融玻璃的液相空间、及被所述液相空间的液面和内壁包围的气相空间，与所述气相空间接触的内壁的至少一部分由含有铂族金属的材料构成，玻璃基板制造装置的特征在于，熔融玻璃处理装置包括：不活泼气体供给装置，将相对于熔融玻璃以及铂族金属不活泼的气体供给至气相空间；以及气体温度调节装置，在供给至气相空间之前调节不活泼气体的温度，以减少存在于气相空间的铂族金属的挥发物凝集。

主权项

一种玻璃基板制造装置，具有熔融玻璃处理装置，所述熔融玻璃处理装置具有包含熔融玻璃的液相空间、及被所述液相空间的液面和内壁包围的气相空间，与所述气相空间接触的所述内壁的至少一部分由含有铂族金属的材料构成，所述玻璃基板制造装置的特征在于，所述熔融玻璃处理装置包括：不活泼气体供给装置，将相对于所述熔融玻璃及所述铂族金属不活泼的气体供给至所述气相空间；以及气体温度调节装置，在将所述不活泼气体供给至所述气相空间之前调节所述不活泼气体的温度，以减少存在于所述气相空间的铂族金属的挥发物凝集。