| 发明名称 |
MODIFIED MICROGRINDING PROCESS |
| 摘要 |
<p>기판 형성방법은 기판의 양쪽 주 표면들이 바람직한 편평도, 평활도, 또는 모두를 달성하도록 연마재를 이용한 기판 연마에 의해 수행된다. 실시태양에서, 더 거친 연마재가 하나의 주 표면 연마에 사용되고, 더욱 미세한 연마재가 동시에 다른 주 표면 연마에 사용된다. 단일 연마 단계가 적용되어 상이한 표면 거칠기들의 반대 표면들을 가지는 기판을 생성한다. 본 발명은 선행 기술에서 적용되는 전형적인 제2 하류 미세한 연삭 단계 생략에 조력한다. 실시태양들은 다양한 기술로 성장되는 사파이어, 탄화규소 및 질화갈륨 단결정 구조를 포함한 다양한 기판에 사용된다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150056633(A) |
申请公布日期 |
2015.05.26 |
| 申请号 |
KR20157009892 |
申请日期 |
2013.09.18 |
| 申请人 |
SAINT-GOBAIN CERAMICS AND PLASTICS, INC. |
发明人 |
RIZZUTO ROBERT A.;KRISHNAN AJAY;ARCONA CHRISTOPHER;TANIKELLA ANAND |
| 分类号 |
H01L21/304;B24B7/17;B24B7/22;B24B37/08;B24B57/02 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
