摘要 |
<p>본 발명의 세라믹스 회로 기판은, 알루미나 기판 위에 금속 회로판이 접합된 세라믹스 회로 기판에 있어서, 상기 알루미나 기판은, 알루미나 AlO를 94 내지 98질량% 및 소결 전에 배합된 소결 보조제로부터 생성된 소결 보조제 유래 성분을 2 내지 6질량% 포함하고, 상기 소결 보조제 유래 성분은, 규소를 함유하는 무기 산화물이며, 상기 소결 보조제 유래 성분 중의 규소는 산화규소 SiO로 환산한 질량으로 상기 알루미나 기판 100질량% 중에 0.01 내지 1.5질량% 포함되고, 상기 알루미나 기판은, 보이드의 최대 직경이 15㎛ 이하이고, 보이드 평균 직경이 10㎛ 이하이며, 비커스 경도가 1300 이상이다.</p> |