STAGE SYSTEM AND LITHOGRAPHIC APPARATUS COMPRISING SUCH STAGE SYSTEM
摘要
<p>스테이지 시스템은 이동가능한 스테이지; 스테이지의 위치를 측정하는 인코더 -상기 인코더는 인코더 빔을 방출하는 이미터, 인코더 빔과 상호작용하는 격자, 및 격자와의 상호작용 후 인코더 빔을 검출하는 검출기를 포함하고, 사용 시 인코더 빔은 광학 경로를 따라 전파됨- ; 적어도 부분적으로 광학 경로를 둘러싸는 퍼징 캡; 및 퍼징 캡으로 퍼징 매질을 공급하는 퍼징 매질 공급 디바이스를 포함한다.</p>
申请公布号
KR20150056638(A)
申请公布日期
2015.05.26
申请号
KR20157009939
申请日期
2013.08.19
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
BEERENS RUUD ANTONIUS CATHARINA MARIA;RUTTEN ROB JOHAN THEODOOR;WESTERLAKEN JAN STEVEN CHRISTIAAN;ZAAL KOEN JACOBUS JOHANNES MARIA;VAN LIESHOUT RICHARD HENRICUS ADRIANUS;VAN DER PASCH ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS
