发明名称 OPTIMIZATION OF CONVEYOR BELTS USED FOR WORKPIECE PROCESSING
摘要 <p>작업물 프로세싱 시스템에서 작업물들의 핸들링을 위한 시스템 및 방법이 개시된다. 시스템은 세개의 컨베이어 벨트들을 사용하고, 하나는 로딩 벨트일 수 있고, 프로세스되지 않은 작업물들을 그것의 관련된 작업물 캐리어로부터 프로세싱 시스템으로 공급한다. 제 2 컨베이어 벨트는 언로딩 벨트일 수 있고, 프로세스된 작업물들을 프로세싱 시스템으로부터 수취하고 그것의 관련된 작업물 캐리어를 채운다. 제 3 컨베이어 벨트는 이 시간 동안 그것의 작업물 캐리어를 교환할 수 있고, 모든 작업물들이 제 1 컨베이어 벨트와 관련된 작업물 캐리어로부터 제거된 후 그것은 로딩 벨트로서 동작을 시작하도록 동작 가능하다.</p>
申请公布号 KR20150056604(A) 申请公布日期 2015.05.26
申请号 KR20157009464 申请日期 2013.09.10
申请人 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. 发明人 VOPAT ROBERT BRENT;DANIEL MALCOLM N.;BONECUTTER LUKE;SCHALLER JASON M.;CARLSON CHARLES T.;WEAVER WILLIAM T.
分类号 H01L21/677;B65G47/52;H01L21/67 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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