| 摘要 |
본 발명에 의한 광측정 장치는 마스터 레이저, 슬레이브 레이저, 조사광 펄스 출력기 및 피측정 신호 출력기를 구비한다. 상기 광측정 장치에 의하면, 마스터 레이저가 마스터 레이저 광 펄스를 출력하고, 슬레이브 레이저가 상기 마스터 레이저 광 펄스와는 반복 주파수 또는 위상이 다른 슬레이브 레이저 광 펄스를 출력한다. 그리고, 조사 광 펄스 출력기가 상기 마스터 레이저 광 펄스를 받고 조사 광 펄스를 출력하고, 피측정 신화 출력기가 상기 조사광 펄스를 피측정물에 조사해서 얻어진 피측정 광 펄스를 받고, 또한 상기 슬레이브 레이저 광 펄스를 받은 시점에서, 상기 피측정 광 펄스의 파워에 따른 피측정 신호를 출력한다. 그리고, 상기 피측정 신화의 측정 오차를 보정한다. |
