| 摘要 |
<p>전사 패턴을 형성하기 위한 박막을 갖는 기판의 피도포면에, 액상의 레지스트제(21)를 수용한 액조(20)로부터 노즐(22)을 통과하여 노즐 선단 개구부에 도달한 레지스트제를 접액시키고, 기판과 노즐을 상대적으로 이동시킴으로써, 피도포면에 레지스트제를 도포하여 레지스트막을 형성하는 공정을 포함하는 마스크 블랭크의 제조 방법이다. 이 레지스트막 형성 공정에서, 피도포면에의 레지스트제(21)의 도포 중은, 상기 액조(20) 내에 레지스트제를 보급하면서 액조 내의 레지스트제의 액면 높이가 일정하게 되도록 제어한다.</p> |
