NANOPYRAMID SIZED OPTO-ELECTRONIC STRUCTURE AND METHOD FOR MANUFACTURING OF SAME

摘要

발명의 측면은 방법 및 장치를 제공한다. 일 실시예에서, 발명은 질화물 반도체의 성장에 관한 것으로 다이오드, LED 및 트랜지스터와 같은 다수의 반도체 장치에 응용할 수 있다. 발명의 방법에 따라 질화물 반도체 나노피라미드는 CVD 기반의 선택적 영역 성장 기술을 이용하여 성장된다. 나노피라미드는 직접 혹은 코어-쉘 구조로서 성장된다.