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<p>횡방향으로 일렬로 배치된 기판 보지부를 구비한 복수의 액처리부와, 상기 액처리부에 대하여 공용화되고 액처리부의 배열 방향을 따라 설치된 복수의 처리액 노즐을 구비한 액처리 장치에서, 상기 처리액 노즐로부터 기판으로의 처리액의 낙하를 억제하여 수율의 저하를 방지할 수 있는 액처리 장치를 제공하는 것이다. 처리액 노즐의 하방에서 상기 처리액 노즐의 배열 방향을 따라 광축을 형성하는 광 센서와, 각 처리액 노즐의 미사용 시에 상기 광 센서에 의해 상기 광축이 차단된 상태를 검출했을 때에 처리액의 액 맺힘 또는 적하가 발생했다고 판정하고 판정 신호를 출력하는 수단과, 상기 판정 신호의 출력에 기초하여 대처 동작을 행하는 대처 수단을 구비하도록 장치를 구성한다. 각 처리액 노즐이 횡방향으로 배열된 각 액처리부 상을 이동함에 있어서, 기판 또는 기판 보지부에 처리액이 적하하여 정상적인 처리가 방해받거나 파티클이 되는 것이 억제된다.</p> |
