用于晶圆接合器之固定机制及方法

主权项

一种用于将一晶圆接合至一板之设备，该设备包括：一基底部件，其具有一接纳侧，该接纳侧经定尺寸以接纳经组态以接合之一晶圆与一板；一盖子，其具有第一相对侧与第二相对侧且经组态以相对于该基底部件而放置于一敞开位置及一关闭位置中，该敞开位置促进该晶圆与该板在该基底部件上之定位以用于接合及在该接合之后自该基底部件移除晶圆与板之经接合总成，该关闭位置促进该晶圆与该板之该接合，该第一侧经定尺寸以在该盖子处于该关闭位置中时啮合该基底部件之该接纳侧，当该盖子处于该关闭位置中时，该基底部件之该接纳侧与该盖子之该第一侧界定一接合室，该接合室经组态以固持该晶圆与该板；及一或多个固定机制，每一固定机制经组态以在该盖子处于该关闭位置中时啮合该盖子之该第二侧并将一固定力施加于该盖子之该第二侧上，从而抵靠该基底部件之该接纳侧而推动该盖子，所施加之该固定力系在该接合室之外部。