扩散剂组成物及杂质扩散层之形成方法

主权项

一种扩散剂组成物，系于掺杂物成分扩散至半导体基板所使用之扩散剂组成物，其特征系含有矽化合物(A)、掺杂物成分(B)、与非掺杂物金属成分(C)，就前述非掺杂物金属成分(C)所含有的Na之含量而言，相对于组成物全体为未达60ppb。