| 主权项 |
一种基板搬送装置，具备：在基板搬送方向之左右方向配置左侧输送机与右侧输送机而成的输送机，藉由驱动该左侧输送机以及右侧输送机，而使该基板以定常速度进行搬送者；其特征为：设有：基板检测感测器，系在该左侧输送机与该右侧输送机，在该基板搬送方向之垂直方向隔开间隔，是感测部的检测面朝向该基板之水平面方向而被配置，用于检测被搬送之该基板；及控制手段，其由该左侧输送机之该基板检测感测器与该右侧输送机之该基板检测感测器对于该基板之检测时序之时间差，求出被搬送之该基板对其之搬送方向之倾斜角，对应于该倾斜角而将该左侧输送机对该基板之搬送速度与该右侧输送机对该基板之搬送速度设定成为不同；设定该左侧输送机对该基板之搬送速度与该右侧输送机对该基板之搬送速度成为不同，而使该基板于该左侧输送机与该右侧输送机之面内旋转，据以补正该基板之倾斜，该控制手段，在使该基板相对于该搬送方向之倾斜角为θ、先检测出基板之边部的时刻为T1、使该右侧输送机与该左侧输送机中之任一者增速至倾斜补正速度的时间为t1、以该倾斜补正速度作移动之时间为t2、从该倾斜补正
速度变成定常速度之时间为t3、以输送机所搬送之基板的间隔为1时，以从时刻T1移动至时刻T1+t1+t2+t3之距离x成为x=1sinθ的方式进行控制。
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