三维形貌轮廓量测装置及其方法

主权项

一种三维形貌轮廓量测装置，其包含有：一光斑产生模组，用以产生一光斑光束投射至一物体而反射形成一反射光斑光束；一条纹光产生模组，用以产生一条纹光束投射至该物体而反射形成一反射条纹光束；一撷像模组，用以感测该反射光斑光束以及该反射条纹光束以产生对应该反射光斑光束之光斑影像以及对应该反射条纹光束之一光束影像；以及一运算处理模组，其系用以根据该光斑影像与该光束影像决定该物体之表面上至少一位置之深度。