聚合物组成物、含该聚合物组成物之光阻剂及含该光阻剂之经涂覆物件

主权项

一种共聚物，包括下列单体之聚合产物：具有式(I)之溶解速率控制单体、式(II)之非环状乙烯基醚单体与式(III)之环状乙烯基醚单体，
式中，Ra为H、F、C1-10烷基或C1-10氟烷基，但式(I)单体之至少一实例之Ra为C1-10氟烷基，X为O或NR，其中R为H、C1-10烷基或C6-10芳基，Z1为C1-20烷基、C3-20环烷基、C6-20芳基或C7-20芳烷基，其中，Z1视需要包括芳香族或非芳香族羟基、磺酸酯、磺酸、磺醯胺、磺醯亚胺、羧酸、酯、碳酸酯、醯胺或其组合，各Rb独立地为H或C1-20烷基、C3-20环烷基、C6-20芳基或C7-20芳烷基，其中，Rb视需要包括F、-C(=O)-O-或其组合，Rc为C1-20烷基、C3-20环烷基、C6-20芳基或C7-20芳烷基，其中，Rc视需要包括F、-O-、-S-、-NR-、-C(=O)-O-或-OH，其中，R为H、C1-10烷基、C3-10环烷基、C6-10芳基或C6-10芳烷基，以及L系含有C1-20伸烷基、C3-20伸环烷基、C6-20伸芳基或C7-20伸芳烷基，且L视需要包括F、-OH或其组合。