发明名称 基板保持环
摘要
申请公布号 TWD167983 申请公布日期 2015.05.21
申请号 TW102307326D02 申请日期 2013.11.14
申请人 荏原制作所股份有限公司 发明人 福岛诚;安田穂积;并木计介;锅谷治;富樫真吾;山木暁
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本