| 主权项 |
一种提升硒化物薄膜成长品质之蒸镀装置，供以于一基板上形成薄膜，包含：一坩锅，具有一容置空间供以容置复数个蒸镀源材料；至少一加热装置，环绕设置于该坩锅外，供以加热该等蒸镀源材料；一套环座，靠抵于该坩锅，且该套环座具有一开口而与该坩锅之容置空间形成连通之状态；至少一第一隔板，靠抵设置于该套环座内，该第一隔板具有至少一混流孔，且该混流孔系设于该第一隔板之中心处位置；及至少一第二隔板，靠抵设置于该套环座内，该第二隔板具有复数个分流孔，且该等分流孔系设于该第二隔板非中心处位置；其中该第一隔板与该第二隔板之剖面系成ㄇ型，且该第一隔板与该第二隔板系相互靠抵而于该第一隔板与该第二隔板间形成一混合空间。 |
