二酸化炭素の精製された多相のプロセスツールへのデリバリーシステム

摘要

超臨界及び亜臨界相の二酸化炭素をオンデマンドで基板に供給して、基板中に含有する汚染物質の除去のための新規で改善されたクリーニングシーケンスを形成するための二酸化炭素供給方法及びシステム。プロセスクリーニングシーケンスの間に所定の時間で特定のシーケンスで蒸気、液体及び超臨界相の二酸化炭素をデリバーする供給システムの能力は、従来の二酸化炭素クリーニングプロセスに比べて基板からの汚染物質の改善された除去を実現する。