| 摘要 |
<p>開示した実施形態は、自己確認型質量流量制御器または質量流量計を提供するための方法、装置およびコンピュータープログラム製品を含む。例えば、１つの実施形態では、自己確認型質量流量制御器が開示される。この自己確認型質量流量制御器は、当該質量流量制御器が利用されているツール／ツールコントローラーに対してソフトウェア修正を何ら必要としない。他の実施形態では、既存の質量流量制御器に対してハードウェアの変更も機械的な変更も必要としない自己確認型質量流量制御器が開示される。さらに、開示した実施形態は、バルブ漏れが存在する状況において、ゼロオフセットまたはゼロドリフトを得るために質量流量制御器の出力のリアルタイムの元の位置での補正を実行するための、バルブ漏れおよびセンサーオフセットを同時に求めるように構成された自己確認型質量流量制御器を更に含む。</p> |
