ナノレベルのパターンが形成された高効率窒化物系発光ダイオード用基板の製造方法（ＭｅｔｈｏｄＦｏｒＦａｂｒｉｃａｔｉｎｇＮａｎｏＰａｔｔｅｒｎｅｄＳｕｂｓｔｒａｔｅＦｏｒＨｉｇｈＥｆｆｉｃｉｅｎｃｙＮｉｔｒｉｄｅｂａｓｅｄＬｉｇｈｔＥｍｉｔｔｉｎｇＤｉｏｄｅ）

摘要

本発明の窒化物系発光ダイオードの製造方法は、底部と凸部とを含み、凸部の下端径は発光ダイオードの発光波長の０．１〜３倍であるナノパターンを有する基板とこれに形成されるＧａＮ層からなるバッファ層を製造する方法を提供する。本発明の窒化物系発光ダイオードの製造方法を用いることで、光抽出向上値が大きく増大され、ナノレベルのパターンを経済的に形成することができる。【選択図】図１