| 摘要 |
Die Erfindung schlägt ein Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur vor, wobei in einem ersten Verfahrensschritt durch ein Ätzverfahren in einem Substrat eine strukturierte Oberfläche erzeugt wird und in einem zweiten Verfahrensschritt zumindest teilweise Rückstände aus der strukturierten Oberfläche entfernt werden, dadurch gekennzeichnet, dass beim zweiten Verfahrensschritt ein Umgebungsdruck für das Substrats eingestellt wird, der kleiner ist als 60 Pa, und eine Substrattemperatur eingestellt wird, die größer ist als 150°C. |
