发明名称 用于研磨粉尘吸取设备之集尘组件
摘要
申请公布号 TWM501635 申请公布日期 2015.05.21
申请号 TW104200907 申请日期 2015.01.20
申请人 台湾伟德科技股份有限公司 发明人 林雅芬;张证壹;林骏杰;王恭书;蔡家和
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 黄志扬 台北市中山区长安东路1段23号10楼之1
主权项 一种用于研磨粉尘吸取设备之集尘组件,该研磨粉尘吸取设备装设于一研磨设备之上方以吸取该研磨设备所产生的复数粉尘,该研磨粉尘吸取设备包含一抽风件以及一与该抽风件连通的吸取口,该集尘组件包含: 一装设于该吸取口下方的框架件;以及 一设置于该框架件下方的集尘件,该集尘件包含一与该框架件连接的连接壁、一自该连接壁向下延伸的环壁、一与该环壁连接的集尘底壁以及一由该环壁与该集尘底壁围绕形成且用以承接该些粉尘的集尘空间,该环壁具有复数个令该集尘空间与外界连通以让该些粉尘进入该集尘空间的侧孔。
地址 新竹县竹北市斗仑里嘉勤南路66号