| 主权项 |
一种附衰减式流量监测器流量控制装置，其特征为，具备：上游侧阀(AV)，将来自具有所需气体供给压之气体供给源的气体流通加以开闭；及流量控制装置，与上游侧阀(AV)的下游侧连接，且具备耐供给压力变动性；及温度感测器(T)，把将前述上游侧阀(AV)的出口侧与前述流量控制装置的入口侧加以连通之通路的内容积作为衰减容量(BC)，且检测于形成该衰减容量(BC)的通路内流通之气体温度；及压力感测器(P)，检测于形成前述衰减容量(BC)的通路内流通之气体压力；及监测器流量演算控制部(CPb)，进行前述上游侧阀(AV)之开关控制，且藉由打开上游侧阀(AV)而使衰减容量(BC)内的气体压力成为设定上限压力值之后，藉由关闭上游侧阀(AV)而于规定时间t秒后使前述气体压力下降至设定下限压力值，藉此以衰减方式来演算并输出监测器流量(Q)；前述监测器流量(Q)系以
(其中，T为气体温度(℃)、V为衰减容量(BC)(1)、△P为压降范围(设定上限压力值-设定下限压力值)(Torr)、△t为上游侧阀(AV)从关闭至开启为止之时间(sec))来演算，将前述流量控制装置做成压力式流量控制装置(FCS)，该压力式流量控制装置(FCS)具备控制阀(CV)、孔
口(OL)或临界喷嘴、压力计(P1)及/或压力计(P2)、流量演算控制装置(CPa)；且将前述衰减容量(BC)做成为，将前述上游侧阀(AV)的出口侧与前述流量控制装置的前述控制阀(CV)的入口侧加以连通之通路的内容积。 |
