发明名称 |
具优质时效特性之震动子用电极材料以及使用该材料之压电震动子与由该材料所构成之溅镀靶材 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI485268 |
申请公布日期 |
2015.05.21 |
申请号 |
TW099140145 |
申请日期 |
2010.11.22 |
申请人 |
田中贵金属工业股份有限公司;日本电波工业股份有限公司 |
发明人 |
小柏俊典;栗田昌昭;照井贵志;寒江威元;赤根克典;冈本谦蔵;上木健一;武田翔平 |
分类号 |
C22C5/02;C22C5/06;H01L41/18;C23C14/34 |
主分类号 |
C22C5/02 |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
主权项 |
一种震动子用电极材料,由Au与二种金属M1、M2的三元合金所构成,作为在压电片激发震动的震动激发电极的震动子用电极材料,其中:该金属M1为Ag、Al、Ni的至少任一个;该金属M2为Pd、Ru、Pt、Ir、Rh、Cu的至少任一个;以及Au浓度为20~70质量%,M1、M2的合计浓度为80~30质量%。 |
地址 |
日本 |