时间差光罩检测,申请号TW099125979-传众专利搜索

发明名称	时间差光罩检测
摘要
申请公布号	TWI485395	申请公布日期	2015.05.21
申请号	TW099125979	申请日期	2010.08.04
申请人	ＡＳＭＬ控股公司	发明人	凯蒂　爱瑞克　布莱恩;哈耐德　诺拉　珍;许玛瑞芙　叶夫根尼　康斯坦蒂诺夫契;萨罗德森　罗伯特　艾尔伯特;贾库伯　理查　大卫
分类号	G01N21/95;G03F1/84	主分类号	G01N21/95
代理机构		代理人	陈长文台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项	一种用于侦测一光罩(reticle)上之污染物(contamination)的方法，其包含：比较清洁该光罩之前产生的该光罩之一部分的一第一图徵(signature)与清洁该光罩之后产生的一第二图徵，以回应于形成自该光罩清洁前的一晶圆影像中所侦测到的一误差，该比较系实施以判定是否有污染物存在于经清洁的该光罩上；如果没有该污染物，以该第二图徵覆写(overwriting)该第一图徵；及判定在该第一图徵与该光罩的该部分之一第三图徵之间的一差异，该第三图徵系在该第一图徵之后产生。
地址	荷兰