| 主权项 |
一种异物检查装置，系使透明平板基板移动同时于前述透明平板基板藉由投光系照射检出光，前述检出光的反射光被遮光，藉由受光系接收存在于前述透明平板基板之异物所形成之散射光而检出前述异物的存在之异物检查装置，其特征系具备：于前述透明平板基板一方的面(以下，简称「表面」)对着前述透明平板基板之基板法线以特定射入角照射前述检出光之投光系；被设于前述表面侧，以前述检出光之照射点为中心点，被设在与前述投光系对称之位置，接收前述检出光照射到异物时之散射光之第1受光系；与在前述表面侧，具备被设于前述检出光之照射点的大致头上，接收前述散射光的同时，限制透过前述透明平板基板内的检出光(以下，简称「透过光」)被照射到存在于前述透明平板基板的另一面(以下，简称「背面」)侧的异物时之散射光的受光范围之受光范围限制手段之第2受光系；藉由前述检出光的照射，对比由前述第1受光系与前述第2受光系所得到之散射光强度资料，藉由从前述第1受光系与前述第2受光系双方检测出散射光强度的资料，或者是仅从前述第1受光系检测出散射光强度的资料，来判别异物是存在于前述透明平板基板表面抑或背面之哪一面之判别手段。
|
