| 主权项 |
一种基板处理装置，具有：搬运室；及处理室，系处理基板；第1基板搬运构件，将基板从该搬运室搬运到该处理室；第1基板载置台，系具有将所载置的基板加热之第1加热器；第2基板载置台，系具有将所载置的基板加热之第2加热器；第1基板保持部，系在该第1基板载置台上维持既定距离而保持基板；第2基板保持部，系在该第2基板载置台上维持该既定距离而保持基板；第2基板搬运构件，系设置在该第1基板载置台与该第2基板载置台之间，从该第1基板搬运构件接承基板，再将基板载置于该第2基板保持部，在进行该基板的处理时，可待机于该第1基板载置台或该第2基板载置台的外周下侧；及该处理室包含有该第1基板载置台、该第2基板载置台和该第2基板搬运构件，设置有该第1基板载置台与该第2基板载置台的空间是连通的。
|
