| 发明名称 |
Thermisch stabiler Multilayer-Spiegel für den EUV-Spektralbereich |
| 摘要 |
<p>Multilayer-Spiegel für EUV-Strahlung, der eine auf einem Substrat angeordnete Schichtenfolge (7) aus einer Vielzahl von Schichtpaaren (5) aus jeweils einer ersten Schicht (1) aus einem ersten Material und einer darauf aufgebrachten zweiten Schicht (2) aus einem zweiten Material enthält, wobei die ersten Schichten (1) und die zweiten Schichten (2) jeweils eine Dicke von mehr als 2 nm aufweisen, und dass das erste Material oder das zweite Material ein Siliziumnitrid, ein Molybdännitrid oder ein Molybdänborid ist, und wobei eine Heizvorrichtung (17) vorgesehen ist, um den Multilayer-Spiegel (19) auf eine Betriebstemperatur von 300°C oder mehr zu erhitzen.</p> |
| 申请公布号 |
DE102006006283(B4) |
申请公布日期 |
2015.05.21 |
| 申请号 |
DE20061006283 |
申请日期 |
2006.02.10 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
FEIGL, TORSTEN, DR.;YULIN, SERGIY, DR.;BENOIT, NICOLAS;KAISER, NORBERT, DR. |
| 分类号 |
G02B1/10;G02B5/08 |
主分类号 |
G02B1/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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