基板にＬｉＰＯＮ層を析出させる方法

摘要

本発明は、基板（１）にＬｉＰＯＮ層を析出させる方法であって、少なくとも化学的な元素リチウム、リンおよび酸素を含む、容器（２）内に存在する蒸発材料（３）を真空チャンバ内部で蒸発させる方法に関する。本発明による方法では、蒸発材料（３）を、少なくとも１つの熱的な蒸発装置（４ａ；４ｂ）によって加熱し、それと同時に、窒素含有の成分を真空チャンバ内に導入するか、または窒素含有の材料を同時蒸発させ、容器（２）から立ち上がる蒸気粒子雲を、基板への析出前にプラズマ（７）によって貫通させる。