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Prozesswalze zur Aufnahme und Führung von bandförmigen Substraten in Vakuum-Beschichtungsanlagen mit einer im Inneren der Prozesswalze befindlichen Heizung, in Form einer langgestreckten Strahlungsheizung sowie einer zylindrischen Mantelfläche zur Aufnahme eines bandförmigen Substrates, wobei die Prozesswalze in einer Vakuum-Prozesskammer um eine Rotationsachse drehbar gelagert ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Prozesswalze (2) vakuumdicht ausgeführt ist, dass die Mantelfläche (3) der Prozesswalze (2) mit zwei Stirnkappen (4, 5) vakuumdicht verbunden ist, die eine abgeflachte, nach außen gewölbte Halbkugelform aufweisen, wobei der Innenraum der Prozesswalze (2) mit einem Vakuumanschluss (6) verbunden ist und dass sich die Strahlungsheizung (8) bis in den Bereich der Stirnkappen (4, 5) erstreckt. |
