发明名称 Arbeitseinheit einer Reinraumanlage
摘要 <p>Eine Arbeitseinheit (1) einer Reinraumanlage weist ein zentrales Basismodul (2), eine Handhabungsvorrichtung (3) und drehbar um das Basismodul (2) eine Drehabstützung (7) für im Zugriffsbereich der Handhabungsvorrichtung (3) liegende Anschlussmodule (5) auf.</p>
申请公布号 DE102013018291(A1) 申请公布日期 2015.05.21
申请号 DE20131018291 申请日期 2013.10.31
申请人 ASYS AUTOMATIC SYSTEMS GMBH & CO. KG 发明人 HÜGLER, KLAUS
分类号 H01L21/677;B65G49/07 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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