Nanomanipulator zum Analysieren oder Bearbeiten von Objekten

摘要

Die Erfindung betrifft einen Nanomanipulator zum Analysieren oder Bearbeiten von Objekten. Der Nanomanipulator ist zur Bewegung mindestens eines Objekts relativ zu einer Analyse- oder Bearbeitungsposition mit mehreren, das zu bewegende Objekt oder einen Objekthalter hierfür stützenden, zur Ausführung von Bewegungen verstellbaren Bewegungselementen ausgestattet, welche jeweils eine Auflagefläche für das zu bewegende Objekt oder den Objekthalter aufweisen, wobei die Bewegungselemente in axialer Richtung des Nanomanipulators mindestens eine Stützebene abstützen. Er ist gekennzeichnet durch Scherpiezoelemente umfassende Bewegungselemente zur Bewegung der Stützebene.