平台装置及微影装置

主权项

一种用于定位一物件之平台装置，该装置包含：一物件台，该物件台经组态以收纳该物件；一基底，该基底经组态以支撑该物件台；一可变磁阻器件，该可变磁阻器件经组态以相对于该基底定位该物件台，该可变磁阻器件包含：第一与第二磁性部件，该等第一与第二磁性部件可相对于彼此位移且经组态以提供具有一可变磁阻之一磁性电路(magnetic circuit)；一线圈，该线圈经组态以在使用中接收用于产生通过该磁性电路之一磁通量的一电流；一量测线圈，该量测线圈经组态以产生表示通过该磁性电路之该磁通量的一量测信号，其中该量测线圈之至少一部分系位于该第一与第二磁性部件间的一间隙内；及一控制单元，该控制单元经配置以在一输入端子处接收该量测信号，且回应于该量测信号而在一输出端子处基于该量测信号提供一控制信号；及一第二器件，其经组态以定位该物件台，其中该控制信号经传递通过一低通滤波器以产生一第一经滤波信号，且该控制信号经传递通过一高通滤波器以产生一第二经滤波信号，其中施加该第一经滤波信号以控制该可变磁阻器件之一电流，且施加该第二经滤波信号以控制由该第二器件
提供之一力。