同轴型微波辅助之沉积与蚀刻系统

主权项

一种微波沉积和蚀刻系统，包含：一处理腔室；一基板支撑件，位于该处理腔室之中，适以固持一基板；一气体供应系统，适以流入多种气体至该处理腔室之中；及一线性同轴微波天线，适以发射微波，其中该线性同轴微波天线包括由一介电材料所环绕之一线性导体，其中该线性同轴微波天线位于该腔室内并沿着该基板之长度而延伸，且其中该微波天线可相对该处理腔室内之该基板来移动。