摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen Inertialsensor (100) mit einem ersten Körper und einem relativ zu dem ersten Körper beweglich gelagerten zweiten Körper. Der erste Körper weist eine erste Elektrode (102) und eine zweite Elektrode (104) auf. Der zweite Körper weist eine dritte Elektrode (106) und eine vierte Elektrode (108) auf. Die erste Elektrode (102) und die dritte Elektrode (106) bilden einen ersten Kondensator mit einer veränderbaren ersten Kapazität aus. Die zweite Elektrode (104) und die vierte Elektrode (108) bilden einen zweiten Kondensator mit einer veränderbaren zweiten Kapazität aus. Der Inertialsensor (100) weist ferner eine erste Schnittstelle (110) zum Bereitstellen eines Antriebssignals an der ersten Elektrode (102) und an der zweiten Elektrode (104) auf, um eine Relativbewegung zwischen dem ersten Körper und dem zweiten Körper zu bewirken. Weiterhin weist der Inertialsensor (100) eine zweite Schnittstelle (112) zum Abgreifen eines, eine erste Kapazitätsänderung der ersten Kapazität und eine zweite Kapazitätsänderung der zweiten Kapazität abbildenden Signals an der dritten Elektrode (106) und an der vierten Elektrode (108) auf, um eine Relativposition des ersten Körpers zu dem zweiten Körper zu erfassen.</p> |