免抓夹静电拖盘结构

主权项

一种免抓夹静电拖盘结构，其包括：一托盘，其形成有至少一载盘用以承载一晶圆；至少一静电膜，固设于该载盘，其中每一该静电膜系固设于一该载盘上，且当该载盘承载该晶圆时该静电膜系位于该载盘与该晶圆之间；以及一上盖，其对应于每一该载盘处皆设有一开口，且该上盖系可分离地盖覆于该托盘上，用以固定该晶圆。