正型光敏树脂组合物、使用其制备的光敏树脂膜、以及包含该光敏树脂膜的半导体元件

主权项

一种正型光敏树脂组合物，包括：(A)由下列化学式1表示的含磷二胺以及包含至少一种选自下列化学式8及9的芳香族二胺所制备的硷溶性树脂；(B)光敏重氮醌化合物；和(C)溶剂，其中所述含磷二胺及所述芳香族二胺系以5：95至95：5的重量比混合：
其中，在化学式1中，R'和R"每一个独立地是取代的或未取代的C1至C20的烷基、取代的或未取代的C2至C20的烯基、取代的或未取代的C2至C20的炔基、取代的或未取代的C1至C20的烷氧基、取代的或未取代的C3至C20的环烷基、取代的或未取代的C3至C20的环烯基、取代的或未取代的C3至C20的环炔基、取代的或未取代的C2至C20的杂环烷基、取代的或未取代的C2至C20的杂环烯基、取代的或未取代的C2至C20的杂环炔基、或取代的或未取代的C6至C30的芳基，
R是取代的或未取代的C1至C20的烷基、取代的或未取代的C2至C20的烯基、取代的或未取代的C2至C20的炔基、取代的或未取代的C1至C20的烷氧基、取代的或未取代的C3至C20的环烷基、取代的或未取代的C3至C20的环烯基、取代的或未取代的C3至C20的环炔基、取代的或未取代的C2至C20的杂环烷基、取代的或未取代的C2至C20的杂环烯基、取代的或未取代的C2至C20的杂环炔基、或取代的或未取代的C6至C30的芳基，以及n'和n"是从0到3的整数，其中，在化学式8和9中，A是单键、-O-、-CO-、-CR4R5-、-SO2-、或-S-，其中R4和R5每一个独立地是氢、或取代的或未取代的C1至C30的烷基，R1至R3每一个独立地是氢、取代的或未取代的C1至C30的烷基、取代的或未取代的C1至C30的羧基、羟基或巯基，
n1是从0到2的整数，并且n2和n3是从0到3的整数。