低温泵系统、低温泵之再生方法

主权项

一种低温泵系统，其特征在于，系具备：复数个低温泵，共用设置于粗抽管路之粗抽泵且各自包含粗抽阀；及控制器，为了再生前述复数个低温泵而控制各粗抽阀；在要封闭已开放之粗抽阀和要开放已封闭之其他粗抽阀之期间设定延迟时间。