发明名称 温度传感器
摘要 本发明涉及一种温度传感器,包括:衬底(1);铂电阻(2),布置在所述衬底(1)上;保护层(4),覆盖所述铂电阻(2);覆盖层(5),覆盖所述保护层(4);所述覆盖层(5)包含Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>和Si<sub>2</sub>O。根据本发明,所述覆盖层(5)还包含Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>。
申请公布号 CN104634471A 申请公布日期 2015.05.20
申请号 CN201410571341.4 申请日期 2014.10.23
申请人 森萨塔科技百慕大有限公司 发明人 凯瑟琳·欧苏利文;安东尼·赫利希;安东尼·马赫;巴拉苏博拉马尼姆·维德海纳森;陈阳
分类号 G01K7/18(2006.01)I 主分类号 G01K7/18(2006.01)I
代理机构 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 代理人 马佑平;马铁良
主权项 一种温度传感器,包括:衬底(1);铂电阻(2),布置在所述衬底(1)上;保护层(4),覆盖所述铂电阻(2);覆盖层(5),覆盖所述保护层(4);所述覆盖层(5)包含Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>和Si<sub>2</sub>O;其特征在于,所述覆盖层(5)还包含Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>。
地址 百慕大汉密尔顿教堂街2号克莱伦顿大楼