发明名称 |
温度传感器 |
摘要 |
本发明涉及一种温度传感器,包括:衬底(1);铂电阻(2),布置在所述衬底(1)上;保护层(4),覆盖所述铂电阻(2);覆盖层(5),覆盖所述保护层(4);所述覆盖层(5)包含Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>和Si<sub>2</sub>O。根据本发明,所述覆盖层(5)还包含Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>。 |
申请公布号 |
CN104634471A |
申请公布日期 |
2015.05.20 |
申请号 |
CN201410571341.4 |
申请日期 |
2014.10.23 |
申请人 |
森萨塔科技百慕大有限公司 |
发明人 |
凯瑟琳·欧苏利文;安东尼·赫利希;安东尼·马赫;巴拉苏博拉马尼姆·维德海纳森;陈阳 |
分类号 |
G01K7/18(2006.01)I |
主分类号 |
G01K7/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 |
代理人 |
马佑平;马铁良 |
主权项 |
一种温度传感器,包括:衬底(1);铂电阻(2),布置在所述衬底(1)上;保护层(4),覆盖所述铂电阻(2);覆盖层(5),覆盖所述保护层(4);所述覆盖层(5)包含Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>和Si<sub>2</sub>O;其特征在于,所述覆盖层(5)还包含Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>。 |
地址 |
百慕大汉密尔顿教堂街2号克莱伦顿大楼 |