发明名称 |
一种定量修补装置及其自动图像修补方法 |
摘要 |
本发明公开了一种定量修补装置及其自动图像修补方法,该定量修补装置包括有激光源、衰减器、镜头,及比对控制单元,该激光源电连接该比对控制单元,该激光源发出的激光经由该衰减器及镜头入射至待测基底表面,该待测基底表面具有异物,该异物具有一定高度,该比对控制单元获取该异物及异物周围区域的待测基底表面的图像,并根据图像中异物处灰度值与周围区域灰度值比对后的差值控制该激光源输出与停止,该激光源输出激光时对异物进行轰击以修补该待测基底表面。本发明通过对图像中异物区域灰度值与正常区域灰度值进行比对并实时反馈,可实现定量自动修补。 |
申请公布号 |
CN104638204A |
申请公布日期 |
2015.05.20 |
申请号 |
CN201310558815.7 |
申请日期 |
2013.11.12 |
申请人 |
昆山国显光电有限公司 |
发明人 |
杨旸;刘洋;胡贤夫;陈宁;施文峰 |
分类号 |
H01L51/56(2006.01)I;H04N7/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/56(2006.01)I |
代理机构 |
北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 |
代理人 |
程殿军 |
主权项 |
一种定量修补装置,其特征在于,其包括有激光源、衰减器、镜头,及比对控制单元,该激光源电连接该比对控制单元,该激光源发出的激光经由该衰减器及镜头入射至待测基底表面,该待测基底表面具有异物,该异物具有一定高度,该比对控制单元获取该异物及异物周围区域的待测基底表面的图像,并根据图像中异物处灰度值与周围区域灰度值比对后的差值控制该激光源输出与停止,该激光源输出激光时对异物进行轰击以修补该待测基底表面。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢 |