真空泵及其运转方法

摘要

本发明提供一种能够减少由错误的发生导致的运转停止的频率的真空泵及其运转方法。真空泵具有：对气体进行排气的泵组件(1)；驱动泵组件(1)的马达(2)；向马达(2)提供频率可变的交流电的逆变器装置(5)；和控制逆变器装置(5)的控制装置(7)。在发生了由过电压或过电流导致的错误的情况下，逆变器装置(5)停止自身的运转，如果错误的发生满足规定的条件，则控制装置(7)使逆变器装置(5)重启。

主权项

一种真空泵，其特征在于，具有：对气体进行排气的泵组件；驱动所述泵组件的马达；向所述马达提供频率可变的交流电的逆变器装置；以及控制所述逆变器装置的控制装置，在发生了由过电压或过电流导致的错误的情况下，所述逆变器装置停止自身的运转，如果所述错误的发生满足规定的条件，则所述控制装置使所述逆变器装置重启。