| 发明名称 | 一种对石墨烯制件进行表面处理的设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种对石墨烯制件进行表面处理的设备，包括真空腔室、真空泵、抽气管道、充气装置、充气管道、电控装置和至少一对电极；所述真空腔室上设有平衡阀；所述真空泵通过抽气管道连通真空腔室；所述充气装置通过充气管道连通到真空腔室内；所述电极设置在真空腔室内，并与电控装置相连接。本实用新型的设备操作简单，清洗耗时短，生产效率高，可规模化清洗石墨烯制件，清洗后的石墨烯制件外表面无残留异物，为后续氧化腐蚀金属基底或电化学剥离金属基底提供前期准备。 | ||
| 申请公布号 | CN204348691U | 申请公布日期 | 2015.05.20 |
| 申请号 | CN201420843284.6 | 申请日期 | 2014.12.26 |
| 申请人 | 常州二维碳素科技有限公司 | 发明人 | 金虎;顾永强;狄建青;武文鑫;孙洪波;徐振飞;龚健 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人 | 徐琳淞 |
| 主权项 | 一种对石墨烯制件进行表面处理的设备，其特征在于：包括真空腔室(1)、真空泵(2)、抽气管道(3)、充气装置、充气管道(7)、电控装置(8)和至少一对电极(9)；所述真空腔室(1)上设有平衡阀(11)；所述真空泵(2)通过抽气管道(3)连通真空腔室(1)；所述充气装置通过充气管道(4)连通到真空腔室(1)内；所述电极(9)设置在真空腔室(1)内，并与电控装置(8)相连接。 | ||
| 地址 | 213000 江苏省常州市武进区经济开发区祥云路6号 | ||