氮化镓大功率开关器件

摘要

本实用新型公开了一种氮化镓大功率开关器件，涉及半导体器件技术领域。所述开关器件包括两个场效应晶体管，所述场效应管包括场效应管本体和晶体管引出电极，所述晶体管引出电极包括栅引出电极、漏引出电极和源引出电极，每个晶体管上的栅引出电极上设有向源引出电极延伸的场板，所述场板与源引出电极之间设有二氧化硅层。所述开关器件的工作频段宽，能从很低的频率到很高工作频率，且能承受比较高的功率，通过加宽漏引出电极和源引出电极的宽度，使得散热能力增强。此外，所述开关器件便于和其他器件的集成，比如大功率开关低噪声放大器，可以集成在一个芯片上，使传统的组件电路更趋于小型化。

主权项

一种氮化镓大功率开关器件，其特征在于：所述开关器件包括两个场效应晶体管，所述场效应管包括场效应管本体（1）和晶体管引出电极，所述晶体管引出电极包括栅引出电极（2）、漏引出电极（3）和源引出电极（4），每个晶体管上的栅引出电极（2）上设有向源引出电极（4）延伸的场板（5），所述场板（5）与源引出电极（4）之间设有二氧化硅层。