一种柱状旋转磁控溅射靶

摘要

本实用新型公开了一种柱状旋转磁控溅射靶，包括柱状靶材、用于安装磁钢组件的磁钢安装芯轴；磁钢安装芯轴与柱状靶材采用同心布置；柱状靶材的一端与传动轴连接，另外一端安装有端部轴头；所述端部轴头上设置有与柱状靶材和磁钢安装芯轴配合的第一凹槽和第二凹槽；所述磁钢安装芯轴一端套接有轴承套；所述轴承套安装在第二凹槽内；所述磁钢安装芯轴套接有过水轴套，且过水轴套支撑起传动轴。本实用新型的有益效果：1、由于过水轴套和轴承套代替了金属滚珠轴承，避免了由于轴承生锈而使磁钢安装芯轴卡死；2、由于传动轴与磁流体旋转时的动密封由磁流进行有效密封，避免了密封圈的磨损。

主权项

一种柱状旋转磁控溅射靶，其特征在于：包括柱状靶材(4)、用于安装磁钢组件(5)的磁钢安装芯轴(6)；磁钢安装芯轴(6)与柱状靶材(4)采用同心布置；柱状靶材(4)的一端与传动轴(8)连接，另外一端安装有端部轴头(1)；所述端部轴头(1)上设置有与柱状靶材(4)和磁钢安装芯轴(6)配合的第一凹槽(1.1)和第二凹槽(1.2)；所述磁钢安装芯轴(6)一端套接有轴承套(3)；所述轴承套(3)安装在第二凹槽(1.2)内；所述磁钢安装芯轴(6)套接有过水轴套(7)，且过水轴套(7)支撑起传动轴(8)。